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    EMPro
    • 激光橢偏儀EMPro

    • EMPro系列是針對高端研發和質量控制領域推出的極致型多入射角激光橢偏儀。 EMPro系列可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量??捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的絕對厚度測量。
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